技術(shù)編號：40598183
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種擴膜裝置。背景技術(shù)、現(xiàn)有技術(shù)中擴膜時通常先將晶圓移動至待擴膜位置上，再對晶圓進行擴膜，移動晶圓時晶圓容易產(chǎn)生偏移，通常需要將晶圓進行角度校準，現(xiàn)有技術(shù)中進行晶圓校準時，是將整個擴膜機構(gòu)一塊進行旋轉(zhuǎn)，需要旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)多，旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)占用空間大，而且受到旋轉(zhuǎn)總質(zhì)量的影響，旋轉(zhuǎn)效率低，影響擴膜效率。技術(shù)實現(xiàn)思路、為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本發(fā)明實施例提供了一種擴膜裝置，晶圓角度糾偏效率高，結(jié)構(gòu)簡單，擴膜效率高。、為達到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：、本發(fā)...
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