技術(shù)編號(hào)：40599879
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及光刻設(shè)備，具體為一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備。背景技術(shù)、光刻機(jī)又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，在半導(dǎo)體熱板生產(chǎn)加工中，通常通過光刻機(jī)上的激光刻頭對(duì)半導(dǎo)體熱板進(jìn)行光刻，但是目前的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，在對(duì)前一塊半導(dǎo)體熱板光刻完畢后，由于半導(dǎo)體熱板換料效率較低，難以快速切換至下一塊半導(dǎo)體熱板進(jìn)行光刻，以至于設(shè)備的工作效率欠佳。、如公開號(hào)cnu公開的一種便于上料的半導(dǎo)體熱板光刻設(shè)備，該裝置通過將半導(dǎo)體熱板分別放入四個(gè)換料凹盒內(nèi)，然后擰緊鎖緊桿帶動(dòng)夾塊夾緊半導(dǎo)體熱板的外端，從而可以...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。