技術(shù)編號：40599938
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)屬于晶圓輸送，具體涉及一種下料裝置。背景技術(shù)、在晶元清洗完畢后，晶圓清洗裝置的內(nèi)部所安裝的機械臂將清洗完畢后的晶圓從清洗艙室中取出并將其放置在花籃里，等待花籃滿籃后進行下一步的工序，由于晶圓在清洗的過程中需要處于水平狀態(tài)，對花籃要求也處于水平狀態(tài)，在下料時，由于沒有下料裝置，花籃的開口始終朝向清洗裝置，作業(yè)人員不便于接觸到花籃的開口處，造成搬運不便的問題；同時工作人員直接對平放的花籃進行搬運會導致花籃內(nèi)晶圓掉落的問題出現(xiàn)，損壞晶圓，造成損失；、因此，為了解決花籃在下料時由于處于水平狀態(tài)...
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