技術(shù)編號:40600948
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光全息光刻機(jī)用精準(zhǔn)定位設(shè)備領(lǐng)域,具體為一種激光全息光刻機(jī)用精準(zhǔn)定位裝置及其使用方法。背景技術(shù)、激光全息光刻機(jī)是一種用于制作全息圖像和光刻版的精密設(shè)備,利用激光干涉原理,通過精確控制激光束的相位和強(qiáng)度,來記錄和再現(xiàn)物體的三維信息,這種設(shè)備在光學(xué)制版、防偽標(biāo)識制作、微納結(jié)構(gòu)加工等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,激光全息光刻機(jī)的主要特點(diǎn)包括高精度、高分辨率和高速度,它可以用于制作各種復(fù)雜的全息圖像和微小的光刻圖案,適用于科研、工業(yè)和商業(yè)等多個領(lǐng)域,在使用的時候需要定位裝置來確保在光刻過程中對光刻板進(jìn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。