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FDSOI器件交流小信號與NBTI效應(yīng)聯(lián)合仿真方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40602883

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件,具體涉及一種fdsoi(fully?depleted?siliconon?insulator,全耗盡絕緣體上硅)器件交流小信號與nbti(negative?bias?temperatureinstability負偏壓溫度不穩(wěn)定)效應(yīng)聯(lián)合仿真方法。背景技術(shù)、近年來,半導(dǎo)體集成電路行業(yè)快速發(fā)展,器件尺寸不斷縮小以及柵氧化層的厚度不斷減薄,器件的可靠性問題越來越嚴重,包括負偏壓溫度不穩(wěn)定(nbti)、熱載流子注入(hci)、總劑量效應(yīng)(tid)以及經(jīng)時擊穿(tddb)等問題,而...
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