技術編號:40603542
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及單晶硅制備用工具領域,具體而言,涉及一種硅料清洗籃。背景技術、拉晶生產(chǎn)原料中循環(huán)料占比約%,循環(huán)料的潔凈度及純度很大程度影響少子壽命的高低;、在循環(huán)料處理過程中,清洗是最主要的一環(huán);清洗、破碎及過程管控決定了循環(huán)料的潔凈度;清洗方式前需對硅料做好預處理,預處理的潔凈程度及處理方式很大程度上決定了后續(xù)藥液清洗的有效性;、目前硅料的預清洗清洗方法通常是將硅料放入一個大框中,然后手動進行清洗。循環(huán)料種類較多、形狀各異、清洗過程中容易產(chǎn)生小塊料,每個批次均產(chǎn)生小塊料,導致小塊料占比較...
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