技術(shù)編號:40603805
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝,具體為一種高性能w波段應(yīng)用的改進(jìn)扇出型晶圓級封裝工藝。背景技術(shù)、隨著無線通信技術(shù)的發(fā)展,尤其是高頻段(如w波段)的應(yīng)用越來越廣泛,對高性能封裝技術(shù)的需求日益增加。w波段(-ghz)的應(yīng)用涵蓋了高速無線通信、毫米波雷達(dá)等多個領(lǐng)域,對于封裝技術(shù)提出了更高的要求。傳統(tǒng)的封裝技術(shù)在高頻段應(yīng)用中面臨著諸多挑戰(zhàn),特別是在倒裝芯片工藝下,存在以下幾個主要問題:、空氣橋結(jié)構(gòu)容易塌陷:在倒裝芯片工藝中,空氣橋結(jié)構(gòu)容易在加工過程中發(fā)生塌陷,影響封裝的質(zhì)量和性能。、有源區(qū)表面不能...
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