技術(shù)編號(hào):40606217
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及單晶爐取棒工裝,具體為一種單晶爐晶棒提取工裝。背景技術(shù)、單晶硅生產(chǎn)過程中,使用的石英坩堝會(huì)在高溫下和硅溶液生成大量的sio,sio會(huì)在高溫情況下與含碳元素部件進(jìn)行反應(yīng),形成晶棒,再利用工具將晶棒從單晶爐副室中降下取出。、現(xiàn)有的人工提取晶棒裝置在使用時(shí),還需要人工將兩個(gè)上部卡環(huán)合頁鉸接后實(shí)現(xiàn)鎖緊扣住,才能將整個(gè)單晶爐棒體實(shí)現(xiàn)夾持鎖緊,且對不不同爐中的晶棒半徑尺寸也會(huì)發(fā)生改變,導(dǎo)致工裝無法達(dá)到理想的使用效果。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶爐晶棒提取工裝,用于克服現(xiàn)有技...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。