技術(shù)編號:40606443
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及膜分離技術(shù)的領(lǐng)域,尤其是涉及一種聚烯烴中空纖維膜的制備方法。背景技術(shù)、隨著微電子領(lǐng)域集成度的提高,對于生產(chǎn)過程中所使用的水的要求也越來越高。例如,當集成度為m時,要求沖洗用水的含氧量低于ppm;當集成度達到m時,對于沖洗用水的含氧量要求低于ppb。這是由于,超純水中的溶解氧容易與硅晶片發(fā)生反應(yīng),生成無定型氧化硅,從而影響元器件的性能和成品率,并且集成度越高,溶解氧的影響就越大。因此,如何制得低含氧量的超純水是當下的研究熱點之一。、隨著膜分離技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了將膜分離技...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。