技術(shù)編號：40606608
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及線性馬達(dá)、載臺裝置、光刻裝置以及物品制造方法。背景技術(shù)、在專利文獻(xiàn)中記載了一種利用線性馬達(dá)使移動體移動的載臺裝置。該線性馬達(dá)具備作為定子的多個線圈和作為動子的磁鐵，通過切換多個線圈之中的通電的線圈，利用洛倫茲力來產(chǎn)生推力。在該載臺裝置中，將配置在相互分離的位置上的一對線圈之中與磁鐵面對的線圈作為動態(tài)制動用線圈來使用，將另一方的線圈作為電流限制電阻來使用。、在先技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：日本特開－號公報技術(shù)實現(xiàn)思路、發(fā)明所要解決的課題、通過在動態(tài)制...
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