技術(shù)編號(hào)：40606797
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻機(jī)真空設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種光刻機(jī)真空設(shè)備故障監(jiān)測(cè)方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)、現(xiàn)有的光刻機(jī)，通常采用真空吸盤(pán)吸取圓片進(jìn)行圓片的光刻，通過(guò)真空設(shè)備提供真空吸盤(pán)所需的真空吸力。一旦真空設(shè)備出現(xiàn)問(wèn)題，則會(huì)導(dǎo)致真空吸盤(pán)吸取力下降，導(dǎo)致圓片在光刻過(guò)程中廢片率的提高。、現(xiàn)有的真空設(shè)備中，一般通過(guò)監(jiān)測(cè)真空傳感器的真空讀數(shù)，當(dāng)真空讀數(shù)低于閾值時(shí)進(jìn)行報(bào)警。但僅憑真空讀數(shù)難以發(fā)現(xiàn)真空設(shè)備中存在的問(wèn)題，無(wú)法對(duì)真空設(shè)備中潛在故障起到預(yù)警作用。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提出...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。