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一種金屬網(wǎng)格節(jié)點(diǎn)細(xì)化的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40607119

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本發(fā)明涉及金屬網(wǎng)格電極的,具體為一種金屬網(wǎng)格節(jié)點(diǎn)細(xì)化的方法。背景技術(shù)、在電容式觸摸屏領(lǐng)域,金屬網(wǎng)格由于其優(yōu)異的性能及成熟的制備工藝而受到廣泛關(guān)注。利用黃光減法工藝制備金屬網(wǎng)格透明電極材料的技術(shù)日趨成熟。然而在濕法制備過程中,由于傳質(zhì)因素、流體動力學(xué)等影響,導(dǎo)致金屬網(wǎng)格節(jié)點(diǎn)偏大,這對金屬網(wǎng)格透明電極的透光度較為不利。為了細(xì)化節(jié)點(diǎn),需從金屬網(wǎng)格黃光工藝制備原理入手。影響金屬網(wǎng)格節(jié)點(diǎn)的關(guān)鍵步驟在于曝光階段和蝕刻階段,本專利我們主要討論曝光階段優(yōu)化節(jié)點(diǎn)的方法。通常我們采用光罩對光阻劑進(jìn)行圖案化曝光,曝...
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