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一種化學沉積爐用封閉式爐底加熱裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40607615

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本申請涉及加熱設(shè)備的領(lǐng)域,尤其是涉及一種化學沉積爐用封閉式爐底加熱裝置。背景技術(shù)、化學氣相沉積爐是制備高性能c/c復合材料的主要設(shè)備之一,通常沉積爐爐壁四周安裝有加熱器,但是當沉積爐尺寸較大時,爐體中心以及爐底的溫度相對較低,從而影響設(shè)備整體溫度均勻性,所以大尺寸沉積爐主要將加熱器安裝在爐體正下方,通過電極引出裝置接線。、但是爐體實際使用過程中,由于c/c復合材料在利用氣相前驅(qū)體熱解下形成沉積炭填充炭纖維的過程中,部分沉積炭很容易沉積在加熱器周圍,在爐體長時間工作時,容易導致加熱器損壞,需要...
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