技術(shù)編號：40608753
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及硅烷廢氣處理，具體涉及一種硅烷廢氣凈化提純設(shè)備。背景技術(shù)、硅烷是指硅與氫的化合物，主要化合物種類有甲硅烷和乙硅烷等，硅烷可以為硅組分提供氣體源用于制作高純度的多晶硅、單晶硅和微晶硅等金屬硅化物，硅烷的主要特點是控制精細(xì)化和高純度，是其他硅源材料無法替代的，主要應(yīng)用于微電和光電等技術(shù)領(lǐng)域。、硅烷廢氣凈化提純裝置在長時間使用后，排出氣體的管道內(nèi)容易堆積較多的粉塵和顆粒物，降低了裝置的利用效率，需要不定時對裝置進(jìn)行停機清理，現(xiàn)有的硅烷廢氣凈化提純裝置的排氣管道一般為多段拼接組成，管道之間...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。