技術編號：40609542
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及芯片自動化檢測，具體為一種芯片自動化檢測系統(tǒng)及方法。背景技術、芯片自動化檢測是半導體制造過程中的一個關鍵環(huán)節(jié)，它涉及到使用計算機控制的設備對芯片進行檢測和品質(zhì)管控。隨著集成電路技術的發(fā)展，芯片的復雜性大幅增加，手動檢測的效率和準確性已經(jīng)無法滿足生產(chǎn)需求。因此，自動化檢測技術應運而生。自動化檢測技術通常包括視覺檢測系統(tǒng)、電子測試設備和專用軟件。視覺檢測系統(tǒng)利用高分辨率相機捕捉芯片表面的圖像，并通過圖像處理算法識別缺陷。電子測試設備通過向芯片施加電信號，并測量其響應來檢測功能性故障。這些...
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