技術(shù)編號：40611871
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體工藝用藥液儲存容器管理系統(tǒng)，更詳細地，涉及可利用短距離無線通信來更有效地管理和監(jiān)控半導(dǎo)體工藝用藥液儲存容器的系統(tǒng)。背景技術(shù)、通常，光刻工藝包括使預(yù)先進行了一系列半導(dǎo)體制造工藝的晶圓位于涂敷裝置的旋轉(zhuǎn)卡盤(spin?chuck)上來涂敷(coating)光刻膠(photoresist)的工藝。、其中，光刻膠包括樹脂(resin)、作為通過光活性化的光敏劑的抑制劑(inhibitor)以及液相(liquid?state)的溶劑(solvent)。、而且，在收容在由玻璃瓶制成...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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