技術(shù)編號(hào)：40613274
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及納米壓印，尤其涉及一種納米壓印裝置及納米壓印方法。背景技術(shù)、納米壓印技術(shù)是制作增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)衍射光波導(dǎo)中表面浮雕結(jié)構(gòu)的主流技術(shù)之一。它通過壓印轉(zhuǎn)移的方式把母版上的表面浮雕結(jié)構(gòu)大批量、低成本的復(fù)制到玻璃晶圓上，從而制造出衍射光波導(dǎo)。但是現(xiàn)有的納米壓印過程中程涉及施加壓力和滾動(dòng)施壓，在這過程中柔性軟膜的張力會(huì)影響柔性軟膜的形變，從而影響翻印出的微結(jié)構(gòu)的效果，因此柔性軟膜的張力控制非常重要，但由于柔性軟膜的張力不便于控制，往往導(dǎo)致壓印的效果不盡如人意。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種納米壓...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。