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技術(shù)編號：40617120

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本發(fā)明屬于氯硅烷分離，尤其涉及一種用于還原回收氯硅烷分離提純的隔板耦合工藝。背景技術(shù)、多晶硅是光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)原料，目前，多晶硅的主要生產(chǎn)工藝是改良西門子法。首先利用冶金硅與氯化氫反應(yīng)合成三氯氫硅粗品，然后對三氯氫硅粗品進行精餾提純得到高純?nèi)葰涔?，接著通過還原反應(yīng)和化學(xué)氣相沉積(cvd)將高純?nèi)葰涔柁D(zhuǎn)化成高純度的多晶硅，還原后產(chǎn)生的尾氣進行干法回收，回收的氫氣返回還原工序，回收的液相氯硅烷送至精餾裝置進行氯硅烷的組分分離，分離得到的高純?nèi)葰涔璺祷剡€原工序，四氯化硅送至冷氫化工序...
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