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層流元件及質(zhì)量流量控制器的制作方法技術資料下載

技術編號:40619205

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本申請屬于流量控制裝置,具體涉及一種層流元件及質(zhì)量流量控制器。背景技術、層流元件具有準確的流阻數(shù)值和穩(wěn)定的層流流動狀態(tài),目前成熟的層流元件通常有毛細管式、柱塞式和疊片式三種結構;柱塞式層流元件由柱塞和套筒構成,柱塞和套筒之間的間隙組成層流流道,該流道對裝配的要求較高,流阻的大小和線性度依賴于裝配的同軸度和裝配間隙。、現(xiàn)有的柱塞式層流元件的柱塞周面具有條狀的凸起結構,柱塞的凸起結構與套筒內(nèi)壁面之間通過過盈裝配實現(xiàn)固定,裝配時凸起結構擠壓套筒的內(nèi)壁面并使內(nèi)壁面產(chǎn)生塑性形變,裝配失誤后,套筒無法重...
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