技術(shù)編號(hào)：40620812
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及多晶硅生產(chǎn)，尤其是涉及一種尾氣預(yù)洗滌裝置。背景技術(shù)、多晶硅企業(yè)全廠尾氣大多數(shù)直接排放到尾氣洗滌塔進(jìn)行水解處理，尾氣洗滌塔底部水池存在很多白色水解物，頂部排放的尾氣排放量超標(biāo)，污染大氣；部分企業(yè)經(jīng)過工藝優(yōu)化后，增加壓縮機(jī)對(duì)全廠尾氣加壓冷凝后再進(jìn)尾氣洗滌塔進(jìn)行水解處理，這樣，尾氣洗滌塔底部水池中水解物相對(duì)較少，頂部尾氣排放量減少。、但是，目前增加壓縮機(jī)的方案仍存在一些技術(shù)問題：、、全廠尾氣中一定量的氯硅烷氣體直接進(jìn)入尾氣洗滌塔水解（現(xiàn)有尾氣洗滌塔用水淋洗全廠尾氣），會(huì)造成氯硅烷浪費(fèi)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。