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一種多晶硅樣片切割設備的制作方法技術資料下載

技術編號:40621683

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本技術涉及切割設備,具體涉及一種多晶硅樣片切割設備。背景技術、目前,所用的多晶硅樣片切割機的樣棒裝夾在一個用螺釘沿樣棒徑向鎖緊的帶孔工裝上,之后按下開關,金剛石鋸片啟動對樣棒進行切割,切割兩刀之后即可得到中間~mm厚的樣片。、然而,以上切割樣棒得到樣片的過程,存在以下問題:、、樣棒徑向采用螺釘鎖緊,固定點位較為單一且不夠穩(wěn)定,若螺釘擰緊力度較大,易發(fā)生樣棒斷裂現象;、、在切割第二刀時,因樣片厚度較薄,樣片在切割到底部時,易發(fā)生崩斷現象,導致底部邊緣不整齊;、、使用的金剛石鋸片...
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