技術(shù)編號(hào)：40622543
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及上游防護(hù)片，具體涉及一種分段式的上游防護(hù)片。背景技術(shù)、碳化硅外延反應(yīng)室的上游防護(hù)片作用為防止旋轉(zhuǎn)基座盤飛出，傳統(tǒng)的上游防護(hù)片為一體式結(jié)構(gòu)，使用lpe外延爐進(jìn)行碳化硅外延生長(zhǎng)過程中，上游防護(hù)片只有靠近源氣的一側(cè)容易附著上外延反應(yīng)產(chǎn)物，進(jìn)而容易出現(xiàn)熱膨脹導(dǎo)致防護(hù)片形變，影響氣流，需要頻繁更換，且在進(jìn)行更換時(shí)往往需要將整個(gè)上游防護(hù)片都更換掉，經(jīng)濟(jì)成本較高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型旨在提供一種分段式的上游防護(hù)片,以解決上述存在的技術(shù)問題。、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。