技術(shù)編號(hào):40623045
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及鍍膜,具體涉及一種鍍膜輔助裝置。背景技術(shù)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工藝一般采用具有支架及串桿的鍍膜輔助裝置帶動(dòng)工件轉(zhuǎn)動(dòng),并在工件隨串桿的轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中在工件的表面形成薄膜。然而,支架與串桿常見(jiàn)的配合方式為串桿的底端插入支架的底端,串桿的頂端插設(shè)在支架頂端的限位孔內(nèi),因串桿的長(zhǎng)度較長(zhǎng),串桿隨支架的底端旋轉(zhuǎn)時(shí),串桿的頂端會(huì)出現(xiàn)偏心旋轉(zhuǎn),容易導(dǎo)致串桿上下端形成的薄膜的厚度不均勻,降低了鍍膜的質(zhì)量。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、鑒于以上內(nèi)容,有必要提供一種鍍膜輔助裝置,以提高工件的鍍膜均勻性。、本實(shí)用新型實(shí)...
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