技術(shù)編號(hào)：40623195
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及探針臺(tái)的，尤其是涉及一種探針臺(tái)的雙腔檢測(cè)裝置。背景技術(shù)、半導(dǎo)體材料的制作過程中，檢測(cè)是十分重要的步驟，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格半導(dǎo)體材料，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。、目前探針臺(tái)通常將測(cè)試裝置、探針臺(tái)及移動(dòng)裝置放于同一個(gè)腔室內(nèi)，實(shí)用新型專利公告號(hào)cnu公開了一種晶圓測(cè)試探針臺(tái)升降機(jī)構(gòu)，包括樣品臺(tái)、驅(qū)動(dòng)裝置、卡盤及測(cè)試裝置，所述樣品臺(tái)內(nèi)部底部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置頂部設(shè)置有卡盤，樣品臺(tái)內(nèi)部...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。