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技術(shù)編號：40624532

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本技術(shù)涉及人工晶體爐，尤其涉及一種用于晶體爐的閥門清理裝置。背景技術(shù)、以多/單晶硅為例，多/單晶硅在整個生產(chǎn)過程中，受坩堝容量的限制，當(dāng)坩堝內(nèi)的原料拉制完畢后，必須停爐(逐漸降低加熱器的加熱功率，當(dāng)爐內(nèi)的溫度降低到室溫后，打開爐室)，取出拉制好的晶棒，然后往坩堝內(nèi)重新放入原料，原料放入后，啟動電源，對坩堝重新加熱，當(dāng)坩堝內(nèi)的原料熔化后開始新一輪晶棒的拉制，大大降低了生產(chǎn)的效率，本申請人為了進(jìn)一步提高晶體爐的生產(chǎn)效率，提出了一種用于人工晶體爐的加料裝置(申請?zhí)枮?)，該...
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