技術(shù)編號：40625692
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅尾氣回收的，尤其涉及一種多晶硅尾氣吸附裝置的反吹系統(tǒng)的。背景技術(shù)、在多晶硅的生產(chǎn)過程中，會產(chǎn)生含有三氯氫硅(tcs)、二氯二氫硅(dcs)、四氯化硅(sts)、氫氣、氯化氫等氣體的尾氣。這些尾氣如果不經(jīng)過處理直接排放，將對環(huán)境造成嚴重污染。因此，開發(fā)有效的尾氣回收和處理技術(shù)對于多晶硅行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展至關(guān)重要。、現(xiàn)有的反吹吸附技術(shù)中一般是通過氫氣、氮氣管線直接反吹吸附柱中被吸附的氯硅烷、氯化氫等雜質(zhì)；但是該反吹效率較為低下，無法有效實現(xiàn)對吸附柱中雜質(zhì)的處理。技術(shù)實現(xiàn)思路、本發(fā)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。