技術(shù)編號：40626424
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及柔性機(jī)構(gòu)，具體為一種基于柔性運(yùn)動副的高精度定位平臺。背景技術(shù)、隨著微納技術(shù)的不斷進(jìn)步，微納米級精密定位平臺在精密加工與精密測量、微電子工程、生物工程、以及納米科學(xué)與技術(shù)等很多領(lǐng)域中發(fā)揮著愈加重要的作用?；谖⒓{米級精密定位平臺實(shí)現(xiàn)的空間平動精密定位平臺被廣泛應(yīng)用于諸如原子力顯微鏡的三維掃描、微納操作、以及先進(jìn)傳感系統(tǒng)等應(yīng)用場景中。為滿足微納技術(shù)的高要求，通常采用柔性機(jī)構(gòu)作為精密定位平臺的傳動裝置。不同于通過運(yùn)動副和連桿連接來實(shí)現(xiàn)運(yùn)動與功能的傳統(tǒng)剛性機(jī)構(gòu)，柔性機(jī)構(gòu)利用材料的彈性變形來傳...
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