技術編號：40627809
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請屬于光伏生產(chǎn)設備，尤其是涉及一種進氣結構及管式pecvd設備。背景技術、太陽能電池制造領域，尤其是會應用化學氣相沉積設備。管式等離子體增強化學氣相沉積設備(以下簡稱管式pecvd設備)作為其中一種，管式pecvd設備被廣泛應用于制備薄膜材料。、管式pecvd設備其特點在于采用了管式結構反應爐，需要將反應氣體和放電氣體引入于反應爐內(nèi)并生成等離子體，等離子態(tài)氣體發(fā)生化學反應，并在反應爐中石墨舟的基片上沉積薄膜材料。、薄膜材料在基片上的厚度分布均勻性是決定薄膜質量的重要指標之一，反應爐內(nèi)進...
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