技術編號：40632390
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于聚合物自組裝圖案化領域，具體涉及一種具有nm以下特征尺寸且能高效自組裝圖案化的離子型均聚物及其制備方法。背景技術、定向自組裝（dsa）技術是光刻工藝和納米制造中應用廣泛的圖案化方法。傳統(tǒng)的嵌段共聚物（bcps）可以利用微相分離原理在納米尺度上進行定向自組裝，形成清晰的間距和有序的形態(tài)，如球形（bcc）、圓柱形（hex）和層狀（lam）。然而在當前工藝中，bcps需要在高溫（>℃）、溶劑溶解（四氫呋喃、氯仿、甲苯等）和長時間（-小時）的條件下退火，才能獲得穩(wěn)定和長...
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