技術編號：40632415
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及石墨舟清洗，具體涉及一種等離子體處理石墨舟的方法。背景技術、隨著光伏技術的不斷進步，隧道氧化物鈍化接觸(topcon)太陽能電池技術已經成為了當前主流的電池技術，量產效率已經達到％以上，且目前topcon太陽能電池的產能仍在持續(xù)擴張中。、而在topcon太陽能電池制備工藝中，等離子增強化學氣相沉積(pecvd)技術得到了廣泛應用。其中，鈍化接觸薄膜(隧道氧化硅摻雜多晶硅薄膜)和減反鈍化膜(氮化硅)的制備都需要用到pecvd設備。光伏產線上的pecvd設備均是采用石墨舟載具來承...
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