技術(shù)編號：40634089
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及一種基板處理裝置和基板處理方法。背景技術(shù)、專利文獻(xiàn)所記載的基板處理裝置具備兩個吸附墊、液接受杯、旋轉(zhuǎn)保持盤、殼體、第一清洗部以及第二清洗部。兩個吸附墊將基板的下表面吸附保持為水平。液接受杯與兩個吸附墊連結(jié)。旋轉(zhuǎn)保持盤將從吸附墊接受到的基板的下表面吸附保持為水平。殼體具有上表面開口的開口部。在殼體的底部設(shè)置有用于排出清洗液的排放管、以及用于對氣流進(jìn)行排氣的排氣管。第一清洗部清洗基板的上表面。第二清洗部清洗基板的下表面。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：日本特開-...
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