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一種儲(chǔ)存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40634492

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本發(fā)明涉及化工,具體涉及一種儲(chǔ)存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法。背景技術(shù)、高純電子混合氣是集成電路、顯示面板等行業(yè)必需的支撐行材料,高純電子混合氣的質(zhì)量對(duì)半導(dǎo)體和顯示器件的性能和良率有重大影響,因此對(duì)高純電子混合氣的純度和組分相對(duì)偏差等都有較高的要求。、包裝容器的潔凈程度極大影響其內(nèi)部存儲(chǔ)氣體的質(zhì)量穩(wěn)定性。通常來說,新購(gòu)置的鋼瓶?jī)?nèi)部會(huì)殘留難除的水分。在一定條件下,高純電子混合氣體(如氫氣、氧氣和氟氣等氣體)會(huì)與容器內(nèi)壁發(fā)生反應(yīng),生產(chǎn)其他雜質(zhì)和水,導(dǎo)致氣體中的雜質(zhì)含量不穩(wěn)定,影響產(chǎn)品的質(zhì)量...
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