技術(shù)編號：40637040
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及石英部件加工，特別是一種石英部件清洗設(shè)備。背景技術(shù)、隨著科學技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)階段半導體技術(shù)是人類重點研究的領(lǐng)域，小到智能家電，中到汽車船舶，大到航空航天，全部都需要應(yīng)用到半導體技術(shù)，而其中石英部件為半導體技術(shù)中的核心部件。、石英部件是通過原料篩選、深加工，提取、設(shè)計蝕刻等一系列加工成品，而此過程中，需要保證石英部件表面的整潔，即避免加工過程中的碎屑或蝕刻溶液的殘留，對于石英部件的質(zhì)量造成影響的問題，因此需要對石英部件進行清洗與清潔處理，現(xiàn)有的清潔與清洗的方式多為沖洗或半自動化浸泡的方...
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