技術(shù)編號:40637252
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及半導(dǎo)體,尤其涉及一種誤差標(biāo)定方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域內(nèi),針對各種形式的鍵合、貼片、錫膏印刷等制造工藝中所遇到的上下點(diǎn)位對準(zhǔn)不佳、偏差測定繁瑣、偏差補(bǔ)償不統(tǒng)一等問題,通過同軸相機(jī)完成加工前的點(diǎn)位對準(zhǔn)、方位調(diào)整和偏差補(bǔ)償后,能夠解決上述問題,并且能在大批量生產(chǎn)中達(dá)到高精度、優(yōu)良質(zhì)量、高良品率。、但是同軸相機(jī)自身同樣存在著同軸誤差(一般指上、下相機(jī)之間光軸的同軸誤差),其源自于組裝零件的加工誤差和形狀公差。此外,在使用過程中,同軸相機(jī)有一定高度尺寸,需配有升...
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