技術(shù)編號：40637569
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓取放設(shè)備，尤其涉及應(yīng)用于傳送窗口的機械手臂及裝載系統(tǒng)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體的制造過程中，晶圓輸送對集成電路制造至關(guān)重要，為了確保晶圓在不同的制程間運送時的品質(zhì)，避免晶圓受到塵?；蚱渌廴?，越來越多的運送工作采用標(biāo)準(zhǔn)的運送容器，即采用了標(biāo)準(zhǔn)機械界面（standard?mechanical?interface，簡稱smif）技術(shù)，該系統(tǒng)是通過明顯減少流過晶圓的塵粒，來降低塵粒對晶圓的污染，該效果是通過在機械方面保證晶圓輸送，存儲以及多數(shù)制程中，晶圓周圍的氣體相對晶圓保持靜止，以及...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。