技術(shù)編號：40637925
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及密封門，特別涉及一種密封門組件及半導(dǎo)體測試設(shè)備。背景技術(shù)、在制造半導(dǎo)體芯片的過程中，部分芯片需要在特定的測試環(huán)境中進(jìn)行測試，例如氮?dú)猸h(huán)境、低露點(diǎn)環(huán)境等。目前，半導(dǎo)體測試設(shè)備的倉體具有測試腔體，芯在測試腔體內(nèi)進(jìn)行測試，為了保證機(jī)械手可以取放芯片，在測試腔體的側(cè)部留有一個窗口，供機(jī)械手通過，為了保證測試環(huán)境的密閉性，需要考慮如何密封窗口技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型提供一種密封門組件，能夠?qū)崿F(xiàn)自動密封或打開窗口，保證測試環(huán)境的密...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。