技術(shù)編號：40639039
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)是有關(guān)于一種偵測與控制流體，如液體與氣體，的流量的，尤指一種可降低感測器被壓力破壞機(jī)率的質(zhì)量流量計與具有該質(zhì)量流量計的質(zhì)量流量控制器。背景技術(shù)、質(zhì)量流量控制器(mass?flow?controller,mfc)是為一種考慮到溫度和壓力的流體流量測量與控制裝置，近年來已普遍應(yīng)用于較測量和控制氣體與液體等可壓縮流體的流量。一般而言，質(zhì)量流量控制器的主要組成元件包含有一質(zhì)量流量計(mass?flow?meter,mfm)、一控制閥以及一控制器。該質(zhì)量流量計具有一管路與一感測器。該管路具有過濾、...
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