技術(shù)編號：40640803
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及集成電路換膜，尤其涉及集成電路自動化換膜裝置。背景技術(shù)、集成電路換膜通常指的是在集成電路制造過程中，更換或移動用于特定工藝步驟的膜片或模具。這些膜片或模具可以是用于光刻過程的掩模板(photomasks)，或者用于其他工藝步驟如蝕刻、沉積等的模具。換膜過程對于保持生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要，因?yàn)椴煌墓に嚥襟E可能需要不同的膜片或模具。但目前的技術(shù)需要操作人員手動插入定位柱來固定換模架，這種手動操作依賴于操作人員的注意力和準(zhǔn)確性，容易出錯。如果操作人員忘記插入定位柱，換模架在運(yùn)輸過程中...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。