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技術(shù)編號：40641381

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本技術(shù)涉及半導(dǎo)體材料加工，具體為一種蛇腹保護(hù)簾部件的排水結(jié)構(gòu)及劃片機(jī)設(shè)備。背景技術(shù)、劃片機(jī)是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機(jī)械傳動、傳感器及自動化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備。主要用于硅集成電路，壓電陶瓷，氧化鋁，氧化鐵，石英，玻璃，陶瓷，太陽能電池片等材料的切割加工。其工作原理是以強(qiáng)力磨削為切割機(jī)理，通過空氣靜壓電主軸帶動刀片與工件接觸點(diǎn)的切割線方向呈直線運(yùn)動，將工件料片上每一個(gè)單元分割開來。使用水流降溫、將工件浸入水中更方便加工，并帶走切割碎屑。蛇腹保護(hù)簾(防水簾)保護(hù)劃片機(jī)設(shè)備的x運(yùn)動...
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