技術(shù)編號(hào)：40641551
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及低溫泵領(lǐng)域，尤其是一種相變加熱再生的低溫泵。背景技術(shù)、現(xiàn)有的熱管的工作溫度不能低于其內(nèi)部工作流體的凝點(diǎn)，否則會(huì)導(dǎo)致工作流體凝固進(jìn)而無法完成通過毛細(xì)作用到達(dá)吸熱段，進(jìn)而使得熱管內(nèi)的工作流體停止相變，使得熱管的導(dǎo)熱效率大大下降。、低溫泵是儲(chǔ)存式真空泵，泵內(nèi)設(shè)有極低溫面，可以通過冷凝和吸附來捕捉氣體，以實(shí)現(xiàn)超高真空的狀態(tài)。低溫泵可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方...
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