技術(shù)編號：40642066
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及真空鍍膜機，具體為一種真空鍍膜機的工件旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。背景技術(shù)、真空鍍膜是指需要在較高真空度下進行鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，mbe分子束外延，pld激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。、對于蒸發(fā)鍍膜，一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片(或稱工件)表面，通過成膜過程形成薄膜。厚度均勻性和組分均勻性主要取決于：工件材料與靶材的晶格匹配程度；工件表面溫度；靶材蒸發(fā)功率和速率；鍍膜真空度；鍍膜時間和厚度大小。當調(diào)整了工件...
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