技術(shù)編號(hào)：40644124
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光刻，具體涉及一種負(fù)性感光樹脂組合物、制備方法及光刻產(chǎn)品。背景技術(shù)、光刻膠又稱光致抗蝕劑(photoresist),是利用光化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移的媒體,它是一類品種繁多、性能各異,應(yīng)用極為廣泛的精細(xì)化學(xué)品,本文主要介紹在電子工業(yè)中應(yīng)用的各類光刻膠。、電子工業(yè)的發(fā)展與光刻膠的發(fā)展是密切相關(guān)的。光刻膠的發(fā)展為電子工業(yè)提供了產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ),而電子工業(yè)的發(fā)展又不斷對(duì)光刻膠提出新的要求,推動(dòng)光刻膠的發(fā)展。由于電子工業(yè)的飛速發(fā)展,目前光刻膠已經(jīng)成為一個(gè)熱點(diǎn)研究領(lǐng)域,每年均有大量相關(guān)論文發(fā)表和新產(chǎn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。