技術(shù)編號：40646775
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及機(jī)器人。背景技術(shù)、在日本特開-號公報中公開了一種基板輸送機(jī)器人，其具備基座、第一臂、第二臂以及第三臂。第一臂由從設(shè)置于基座的第一伺服馬達(dá)通過第一動力傳遞單元傳遞的動力驅(qū)動。第二臂由從設(shè)置于基座的第二伺服馬達(dá)通過第二動力傳遞單元傳遞的動力驅(qū)動。第三臂借助由聯(lián)動單元傳遞的動力而與第二臂聯(lián)動。技術(shù)實現(xiàn)思路、本公開提供一種對提高基板的定位精度有效的機(jī)器人。、本公開的一個方面所涉及的機(jī)器人具備：多關(guān)節(jié)臂，其具有支承基板的手部、基部、將手部與基部連結(jié)的臂、以及沿著臂排列且...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。