技術(shù)編號：40649473
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及硅熔煉設(shè)備領(lǐng)域，具體是指一種金屬硅加工用冶煉電爐。背景技術(shù)、金屬硅是半導(dǎo)體硅產(chǎn)業(yè)鏈中較為上游的一種材料，通常使用三相電弧熔煉爐加熱二氧化硅和碳的混合物生成單質(zhì)液態(tài)硅后冷卻得到金屬硅進(jìn)行生產(chǎn)，這種生產(chǎn)設(shè)備采用大尺寸爐體作為反應(yīng)容器，其中需要將個石墨電極柱伸入爐體內(nèi)高壓放電產(chǎn)生電弧擊穿并加熱二氧化硅和碳的混合物，但石墨電極柱的放電范圍較為有限，在石墨電極柱的放電范圍較外的溫度相對較低，二氧化硅和碳無法轉(zhuǎn)化為液態(tài)硅而是形成碳化硅，碳化硅的熔化高于石墨電極柱可提供的溫度，無法熔化的碳化硅則...
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