技術(shù)編號:40652215
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光刻膠剝離液領(lǐng)域,尤其涉及一種顯示面板用水系光刻膠剝離液及其制備方法和應(yīng)用。背景技術(shù)、光刻膠又稱光致抗蝕劑,主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經(jīng)光照后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng),使得這種材料的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)曝光、顯影、刻蝕、擴散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至加工的基板上、最后通過去膠剝離液將曝光部分的光刻膠清洗掉,從而完成整個圖形轉(zhuǎn)移過程。、現(xiàn)有剝離液主要有水系剝離液和有機剝離液。水系剝離液的主要成分...
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