技術編號：40653680
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及玻璃板的檢查裝置以及玻璃板的制造方法。背景技術、近年來，在液晶顯示器、有機el顯示器等顯示器中，使用輕量且具有撓性的薄壁的玻璃基板。在用于顯示器的玻璃基板的表面均勻地涂布各種膜之后使用光學工藝的方法(曝光工序、顯影工序等)而形成薄膜晶體管(tft)。、為了高精度地形成薄膜晶體管，對玻璃基板要求高的尺寸精度。因此，在玻璃板的制造工序中，實施對制造出的玻璃板的形狀進行檢查的工序。、作為在這種檢查工序中使用的裝置，存在對玻璃板的翹曲進行測定的裝置。例如，在專利文獻中公開有具備載置玻璃...
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