技術(shù)編號(hào)：40653682
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及一種距離測(cè)定裝置、距離測(cè)定方法、接合裝置以及接合方法。背景技術(shù)、以往，已知有一種將半導(dǎo)體晶圓等基板彼此間接合的接合裝置(參照專利文獻(xiàn))。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：日本特開-號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、發(fā)明要解決的問題、本公開提供一種即使在靜電電容傳感器與測(cè)定對(duì)象物之間沒有導(dǎo)通的情況下也能夠進(jìn)行使用靜電電容傳感器的距離測(cè)定的技術(shù)。、用于解決問題的方案、本公開的一個(gè)方式的距離測(cè)定裝置具備第一構(gòu)件和靜電電容傳感器。第一構(gòu)件相對(duì)于為導(dǎo)體或半導(dǎo)體的測(cè)定對(duì)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。