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半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)及其失效分析方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40654463

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本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體,特別是涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)及其失效分析方法。背景技術(shù)、聚焦離子束(focused?ion?beam,簡(jiǎn)稱(chēng)fib)系統(tǒng)是指能夠利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。fib制樣的基本原理是利用電透鏡將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)離子槍加速且聚焦后作用于樣品表面,以實(shí)現(xiàn)樣品材料的銑削、沉積、注入和成像等。并且,在fib制樣過(guò)程中可利用電子束實(shí)時(shí)監(jiān)控樣品加工進(jìn)度,從而更好的控制加工精度,以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)半導(dǎo)體器件的分析和制造。、然而,在fib制樣過(guò)程中需要制備較大的樣品截面,才...
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