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技術(shù)編號：406963

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于在硅襯底表面上形成金字塔狀的凹凸結(jié)構(gòu)的刻蝕液和使用了該刻蝕液的硅襯底的表面加工方法。背景技術(shù)在晶體硅太陽能電池中所使用的硅襯底表面上，形成一種稱之為紋理結(jié)構(gòu)的微細(xì)金字塔狀的凹凸。所照射的光因該紋理結(jié)構(gòu)在表面上進(jìn)行多重反射，從而對硅襯底的入射機(jī)會增加，被有效地吸收于太陽能電池內(nèi)部。具有紋理結(jié)構(gòu)的硅襯底借助于對利用線狀鋸等將硅錠切片而得到的硅襯底進(jìn)行刻蝕制成。硅襯底的刻蝕均可借助于使用了堿性的刻蝕液的濕法刻蝕而進(jìn)行。該種刻蝕在氫氧化鈉溶液中的情況下按照以下的反應(yīng)式(I)、(2)、(3)等的反應(yīng)進(jìn)行...
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