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技術(shù)編號：40747559

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本技術(shù)涉及l(fā)ed半導(dǎo)體，具體地說，尤其涉及一種石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置。背景技術(shù)、近年來，以gan基為半導(dǎo)體材料的半導(dǎo)體器件研究方向已非常成熟，led發(fā)光二極管已形成穩(wěn)定的產(chǎn)業(yè)鏈，為進一步的降低成本提升產(chǎn)能，led外延生長使用襯底逐步從英寸過渡至英寸、英寸，大尺寸襯底需保證好的片內(nèi)均勻性，這對外延生長的溫度均勻性要求更高，石墨基板是襯底與底部加熱器間的熱傳導(dǎo)媒介，因此，石墨基板的溫度均勻性和穩(wěn)定性對led外延產(chǎn)業(yè)有至關(guān)重要的作用，用于承載襯底的外延石墨基板具有多個間隔分布的圓形凹槽，襯...
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